第一情报 ---材料工业

纳米压印设备及生产厂商

供稿人:杨莺歌  供稿时间:2006-6-19   关键字:纳米压印  设备  生产厂商  
纳米压印技术主要包括热压印(HEL)、紫外压印(UV—NIL)和微接触印刷(μCP)。纳米压印术是软刻印术的发展,它采用绘有纳米图案的刚性压模将基片上的聚合物薄膜压出纳米级花纹,再对压印件进行常规的刻蚀、剥离等加工,最终制成纳米结构和器件,可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图形结构,并且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。该技术还有制作成本极低、简单易行、效率高等优点。因此,与极端紫外线光刻、X射线光刻、电子束刻印等新兴刻印工艺相比,纳米压印术具有不逊的竞争力和广阔的应用前景。目前,这项技术最先进的程度已达到小于5 nm的水平。
 
当前开发纳米压印设备的公司都是一些名不见经传的公司,如Nanonex、EV Group、 Molecular Imprints Inc.(MII)和Obducat等,见下表。
 
表 纳米压印设备生产厂商
公司名称
所在地
备注
Molecular Imprints
美国得克萨斯州
德克萨斯大学的分离公司,也许是半导体行业最为关注的压印设备制造商,拥有超过100名员工。
Suss MicroTec
德国Munich
掩模对准器和晶片压接工具制造商,提供能够自动完成晶片处理过程的新型压印设备。
Nanonex
美国新泽西州
普林斯顿大学的分离公司,是最早的纳米压印公司,出售抗阻材料、掩模以及压印设备。
EV Group
奥地利
掩模对准器和晶片压接工具制造商,声称已经售出40台压印设备。
Obducat
瑞典
压印设备的主要供应商,同时提供扫描电子显微镜和电子束光刻工具。
 
1. MII公司提供Texas大学Grant Wilson研究小组发明的NIL技术—步进/闪光纳米压印(SFIL)。该公司Imprio生产线采用步进/重复图形转印工艺,最大工作范围26mm×32mm。采用365nm标准紫外灯,可转印小于50nm的图形。
 
最近在计划募集$25M基金的计划结束时,MII募集到了$17M,这使其获得了超过$60M的资金。最新的MII投资方包括Dai Nippon Printing Co. (DNP),Alloy Ventures,Motorola Ventures,Harris & Harris,Draper Fisher Jurvetson,Hakuto Co. Ltd.和资产管理方面的合作伙伴。    
                 

图1 研究用 Imprio® 55和工业用Imprio® 250纳米压印机

2. SUSS MicroTec公司的NPS300纳米转印步进机是在第六框架计划(the Sixth Framework Program)下,与VTT Microelectronics中心一起研发的。在20043月,委员会启动为期4年的纳米项目来开发纳米转印技术,目标是使由上而下的微型化技术和由下而上的自我组装技术更好的结合并标准化。SUSS在纳米项目中的合作伙伴有VTTNMRC-NILNMRC-CMGmrtEPFLIBMLAAS

NPS300是一种灵活的工具,它既适用于手工装载机器,又适用于全自动的系统。后者结构包括全自动芯片处理,尺寸可到300mm,还有自动的模版处理能力,不同的模版可以在同一个芯片上印刷。对微小或纳米设备复制实现了高性价比的最优化,SUSS的NPS300实现了在20纳米以下进行热压印和冷压印(UV-NIL)应用的压印解决方案。如果配置自动校准曝光仪,NPS300能实现250纳米的覆盖准确率,尺寸为100mm,厚度为6.5纳米的印花。

                        

  图2 NPS300纳米转印步进机
 
3. Nanonex 公司提供NIL的全套解决方案,从机器、刻蚀剂、模具到工艺。其推出了NX-1000设备, 用于热压印;NX-3000,步进闪光压印及NX-2000通用型纳米压印机器。
                  
                 
图3 NX-1000型整片热纳米压印机、NX-2000型整片通用纳米压印机、
NX-2500型对准整片纳米压印机和NX-3000型步进对准纳米压印机
 
4. EV Group公司推出EVG520 HE系统,用于热压印,其分辨率小于100 nm;此外还生产紫外固化压印和微接触压印设备。EV Group宣布在NIL Fab Inc.和Heptagon安装了纳米压印光刻设备。其中高产能热模压印图案系统EVG570安装在NIL Fab Inc.,在那里将使用低成本的NIL工艺和材料小规模生产生物传感器,整合多功能芯片,光子器件,磁存储器,有机发光薄膜和其它产品;另一台精确对准纳米压印光刻设备EVG640NIL安装在Heptagon将用于生产微光子器件。
 
EV公司组织了一个被称为“NILcom”的联盟,这个联盟拥有来自公司、大学和研究院的12个成员,致力于纳米压印光刻技术的商用化。EV公司先进光刻业务部门的主管Helge Luesebrink估计,到2004年年底,全球大约安装了160台纳米压印光刻技术设备,其中大多数在大学和研究院。而EV公司供应了其中的四分之一,也就是40台。
 
         
图4 EVG520HE、EVG750热纳米压印机和EVG770紫外纳米步进机
 
5. Obducat公司是压印设备的主要供应商,设计制造实验和工业用途的纳米压印设备,同时提供扫描电子显微镜和电子束光刻工具。

                                               

图5 工业用6英寸纳米压印设备

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