第一情报 ---材料工业

电子用特种气体2003年度国际发展

供稿人:ISTIS  供稿时间:2006-10-26   关键字:特种气体  
电子工业用特种气体(简称特气)包括纯气体与多元混合气,主要用于加工保护、搀杂、蚀刻、离子注入等330多个品种、约1000多种不同规格。成膜和搀杂用量较大的气体是硅、砷、磷烷;蚀刻气中常用的是BCl3、CCl4、CCl2F2、CF4、NH3、SiF4等;离子注入气常用的是AsF5、AsH3、PH3、BCl3等。目前特种气体的开发重点是氟化物特种气体,它被称为电子工业的“血液”和“粮食”,主要用于半导体IC、光导纤维、太阳能电池等制造工艺中的蚀刻气体。
 
在电子化学品的发展过程中,一些气体公司扮演了重要角色,其中尤以美国气体和化学品公司为代表。作为工业气体和化学品的国际性企业,气体和化学品公司半导体工业部门的年销售额达8亿美元。该公司于2000年成立了空气产品电子化学品部(APEC),主要业务是向半导体工业部门供应多种电子化学品和提供相应的服务。此外,该公司还与动力集团公司成立了一家股权各占一半的电子公司,这家名为Trimega的合资公司可向新建和扩建的半导体工厂提供各类技术服务,包括大宗气体和电子化学品的管理、特种气体和相关设备、公用工程管理、超高纯气体流动控制部件、化学品和料浆的输送及混合设备、超纯水和废水设备及循环再生设备等。与此同时,另外两家向半导体工业部门供应气体的公司——BOC公司和法国液体和空气产品公司也不甘落后,纷纷在收购、联合及扩大业务范围等方面大显身手。如液体和空气产品公司与阿尔科公司进行了全球营销大联合,取长补短、为芯片制造厂家提供全面的服务。
 
在电子化学品中,电子用特种气体的用量是仅次于用于集成电路和分立元器件电路的硅片、砷化镓晶片,市场需求总值排行第三,预测其需求年均增长速度为7.8%,到2004年其市值将达到9亿美元。

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