第一情报 ---装备制造业

美、欧、日加大微机电系统研发力度

供稿人:ISTIS  供稿时间:2006-5-30   关键字:微机电  MEMS  美国  欧盟  日本  
MEMS技术及其产品的增长速度非常之高,并且正处在技术发展时期,再过若干年将会迎来MEMS产业高速发展的时期。美、日、德等先进工业国家均视其为二十一世纪最具发展潜力的新兴产业,欧洲、日本和远东地区的国家、地区和州政府均为MEMS的制造商和学术组织提供项目和研发资金,美国大部分资金则流向国家大型学术实验室。
美国
美国是微型机械技术的发源地,在这一研究领域积累了丰富的经验,其研究成果包括微传感器、微电机红外成像仪等。例如,美国Texas Instruments公司研制出用于投影装置的数字驱动芯片;美国朗讯公司已研制成功基于MEMS光学开关的新路由器,并开始在大西洋网上试用;美国的Affymetrix公司已经推出批量化生产的高密度基因芯片产品,应用于基因的表达与基因型的检测。此外,美国一直非常重视将微型机械技术应用于军事领域,包括微型惯导装置,微型卫星、微型侦察机器人等。例如MIT人工智能实验室研制的一种“蚊子机器人”,可用于收集情报和窃听。
 
2000年,美国的Nortel公司以32.5亿美元收购了至今尚无产品出售、专门从事MEMS光学开关研发的Xros公司,成为IT业爆炸性的新闻,显示了微型机械技术的巨大潜在价值与市场。美国已经有规模生产MEMS的工厂,还建立了不止一个加工线。据2001年MIG年度报告,美国东、西、中部及各州的MEMS公司比例如下图所示
美国东、西、中部的MEMS公司
    从上图可以看出,46%(即71家)公司位于美国西海岸,主要原因在于加州是美国技术集聚地。
美国各州MEMS公司
分州看,美国有27个州都有MEMS公司,其中44%(67家)MEMS公司的总部设在加州,麻省是第二位,约占9%,接下去是新泽西和纽约,分别占4%。
 
自2001年以来,MEMS从业人员每年增加30%,2002年,超过2700人在MEMS企业工作,其中加州最多,占33%,麻省占27%。
 
2001年,有10%的企业赢利在500万美元以上,40%的企业赢利在10-500万美元之间,50%企业赢利10万美元。
欧盟
欧洲处在微机械系统工业活动的最前沿。有大约100家工厂、4000多人从事生产活动。每年处理的圆片越过50万片。一半的欧洲MEMS公司处理l00mm圆片、但是有升级到50mm(25%是处理150mm)的趋势,并且有3项MEMS设备工程将处理200mm圆片。
 
欧盟已经资助了作为Esprit项目一部分的Europractice计划。该计划由4组公司组成,目标是通过使用最新的设备和技术来提高欧洲微系统技术(MST)的竞争力。该计划的重点放在MST的大规模商业化和使用户更好地使用MST上。
日本
日本对于微型机械的研究,尽管起步比美国晚将近20年。但大有后来居上之势。典型成果主要集中于民用产品方面,比如硬盘驱动头、喷墨打印头和陀螺仪等,以及一些机械电子产品、精密光学元件。日本采用光加工技术已经制造出具有历史性标志的“纳米牛”,这显示出日本在激光微加工技术方面已经在世界领先。
 
日本微机械中心是由几家私人公司和政府机构组成的财团,由政府资助开发MEMS器件和系统并最终将其推向市场。
 

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