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传感器技术发展趋势:MEMs传感器、生物传感器等新型传感器技术

供稿人:杜渐  供稿时间:2015-10-27   关键字:传感器  发展趋势  MEMs传感器  生物传感器  新型传感器技术  
随着传感器低成本、低功耗、微型化方向发展,以及传感器的应用环境更加复杂和多样化,MEMs传感器、生物传感器等成为新型传感器的开发重点。

MEMs传感器将半导体加工工艺,如氧化、光刻、扩散、沉积、蚀刻等,引入传感器的生产制造,实现了的传感器规模化生产,并为传感器微型化发展提供了技术支撑,而MEMs工艺与光、生物等其他领域技术融合,又可以开发出许多新型MEMs传感器产品。MEMs传感器技术发展主要有以下几个重点方向:一是微型化的同时降低功耗,开发微米甚至纳米级别的微型器件,同时降低功耗;二是微型化的同时提高精度,消除传感器噪声特性,获得同高端产品一致的精度及稳定性;三是实现MEMs传感器的集成化及智慧化,发展多参量MEMs传感器集成制造技术,集成控制IC实现传感器智慧化功能,开发MEMs与其他学科技术交叉融合的新一代传感器产品,如:MOMES(MEMs与微光学的结合)、智能传感器(MEMs 与CPU 、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(MEMs 与生物技术、电化学的结合)以及网络化传感器(MEMs 网络技术的结合)、纳米传感器(纳米技术与传感技术的结合)。

生物传感器是用固定化的生物体成分,如酶、抗原、抗体、激素等,或者是生物体本身的细胞、细胞器、组织等作为传感元件制成的传感器,是新型传感器的另一研发热点。因其具有专一性、灵敏度高、响应快等特点,不仅可以应用于基础医学研究及临床诊断,在食品农药残留成分的快速检测,环境污染的远程检测和控制,爆炸物的快速检测等领域也有广阔的应用前景。未来随着生物传感器和半导体、计算机技术融合进一步紧密,生物传感器甚至可以实现智能的疾病监测治疗的一体化功能。

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