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刊     号:
ISSN 1007-080X  CN 31-1714/TM

邮发代号:4-565

 

 

 
下一代实用光刻技术——纳米压印技术
The Next Generation Lithography: Nanoimprint Lithography
详细介绍了纳米压印技术的应用前景,对目前各种纳米压印工艺进行归纳、分类。通过对不同工艺过程的深入比较,分析了它们的优缺点,并展望了各自的应用前景。
年份2005
期数06
作者刘伯彦1,3 顾长庚2 乌建中1 朱兆颖1
作者单位1.同济大学机械工程学院,上海 200092; 2.上海科技生产力促进中心,上海 200092; 3.内蒙古工业大学机械学院,呼和浩特 010062
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