2021年上海电子化学品专区发展概况

2020年12月，上海电子化学品专区在上海化工区成立。电子化学品专区是上海为打造世界级集成电路产业集群，提升电子材料供应保障能力的一项重要举措。按照相关规划，上海电子化学品专区将重点发展光刻胶及配套材料、电子特气和湿电子化学品三大类产品，以及相关仓储、物流服务等。截止目前，园区已签约入驻彤程电子、安集微电子、昭和电子、法液空等众多国内外知名电子材料企业。

在上海市政府大力支持下，2021年上海电子化学品专区建设稳步推进。1月，上海电子化学品专区揭牌后首个开工项目——昭和电子高纯度电子气体扩建项目启动建设，该项目将投建1条高纯度一氧化二氮气体和1条高纯度八氟环丁烷气体生产线，为国内芯片、OLED制造企业提供优质、稳定的材料。4月，彤程电子材料半导体光刻胶及高纯试剂项目启动建设，项目一期规划建设年产1.1万吨半导体光刻胶及2万吨相关配套溶剂产线，计划在2022年分批投产，建成后将大幅提高光刻胶生产本土化水平。项目二期ArF高端光刻胶研发平台建设也已启动，计划投资6.9853亿元，2023年末建设完成，该研发平台将开展ArF光刻胶，特别是193nm湿法光刻胶技术开发，确定ArF光刻胶工程化放大技术、标准生产流程及质量管控体系等。

11月，上海化学工业区管委会印发《上海化学工业区发展“十四五”规划》，提出加快电子化学品专区建设，以光刻胶和配套材料、电子特种气体、湿化学品等集成电路关键材料为重点，引进国际知名企业和国内骨干企业，培育新兴企业，新增3万平方米以上的专用仓储，联手华东理工大学设立“上海电子化学品创新研究院”，形成包括创新、检测、验证等服务的产业生态，为上海集成电路产业的电子化学品品种配套率达到70%，成为国内标杆性的电子化学品基地。

12月15日，上海电子化学品专区工作推进会暨上海电子化学品创新研究院揭牌仪式举行。上海市副市长张为出席会议并发表讲话指出我国集成电路产业面临的最大风险就是供应链的安全问题，为此必须花大力气、集中各方面力量去提高电子化学品本地化配套率。一要做强研发，加大创新力度。集中优势力量，加速推进基础研发、中试放大、上线验证等进度，推动电子化学品自主创新。充分发挥科研机构作用，依托上海电子化学品创新研究院，重点突破超净高纯试剂、芯片制造材料、芯片封装材料等方向的基础研究；依托国家集成电路材料技术创新中心研发中试平台，以企业需求为导向，加快推进高端光刻胶树脂开发等先期启动项目，实现一批产品的国产替代；依托上海集成电路研发中心、上海市计量测试技术研究院等平台，加快推进产品检测、上线验证等流程，加速实现研发产品产业化。二要做优生态，加强产业链协同。将产业链上下游各个环节集聚在一个轨道，实现最优功能、最低成本的配置。光刻胶领域，要聚焦产业链关键点布局重点项目，形成上下游一体化互供模式；电子特气领域，引进国内气体行业领军企业，加快实现特气产品的国产技术突破和替代，另一方面要积极引入外资龙头项目，开展本地化生产及存储经营，确保供应链安全稳定；湿电子化学品领域，要加速推进重点项目，打造功能性湿电子化学品与高纯湿电子化学品国产替代的产业聚集高地。三要做实保障，加快项目落地。相关部门要全力强化要素保障，为专区发展营造良好环境。土地方面，要进一步梳理化工区管委会受托的专区土地审批事项及相关权限，科学合理分工、协调联动审批，促进土地高效收储、高效供应。资金方面，要发挥本市战略性新兴产业、工业强基等现有专项资金的引导作用，尽可能向专区企业倾斜。同时，积极引导企业对接国家集成电路产业投资基金（二期）、上海市集成电路产业基金等，进一步获取支持。服务方面，要抓紧研究并提出电子化学品项目审批流程优化的方案，进一步压缩审批环节和时限，助力项目早开工、早投产。

2022年1月，《上海市人民政府关于印发新时期促进上海市集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》印发，文件专门提出支持上海电子化学品专区建设，优先布局集成电路材料领域重大产业项目，建设集成电路专用电子化学品公共仓储设施，打造上海电子化学品创新研究院和校企联合实验室。上海化工区专项发展资金进一步聚焦集成电路材料制造、研发、仓储项目，给予一定补贴。

参考文献：

1、《上海市人民政府关于印发新时期促进上海市集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》.

https://baijiahao.baidu.com/s?id=1722345773285235504&wfr=spider&for=pc.发布于2022.01.19，访问于2022.05.15

2、《上海化学工业区发展“十四五”规划》.https://www.163.com/dy/article/GQHPS6GB0552RQ3S.html.发布于2021.12.06，访问于2022.05.15